CTR - Großgeräte für Forschungsreinraum Referenznummer der Bekanntmachung: CTR - Großgeräte für Forschungsreinraum

Auftragsbekanntmachung

Lieferauftrag

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen
CTR Carinthian Tech Research AG
Europastraße 12
Villach
9524
Österreich
Kontaktstelle(n): Schramm Öhler Rechtsanwälte; zHd RA Mag. Christian Gruber
Telefon: +43 14097609
E-Mail:
Fax: +43 1409760930
NUTS-Code: AT

Internet-Adresse(n):

Hauptadresse: www.ctr.at

I.2)Gemeinsame Beschaffung
I.3)Kommunikation
Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter: www.auftrag.at
Weitere Auskünfte erteilen/erteilt folgende Kontaktstelle:
Schramm Öhler Rechtsanwälte
Bartensteingasse 2
Wien
1010
Österreich
Kontaktstelle(n): RA Mag. Christian Gruber
Telefon: +43 14097609
E-Mail:
Fax: +43 14097609-30
NUTS-Code: AT

Internet-Adresse(n):

Hauptadresse: www.schramm-oehler.at

Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen an folgende Anschrift:
Schramm Öhler Rechtsanwälte
Bartensteingasse 2
Wien
1010
Österreich
Kontaktstelle(n): RA Mag. Christian Gruber
Telefon: +43 14097609
E-Mail:
Fax: +43 14097609-30
NUTS-Code: AT

Internet-Adresse(n):

Hauptadresse: www.schramm-oehler.at

I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
I.5)Haupttätigkeit(en)
Andere Tätigkeit: Forschung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung
II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

CTR - Großgeräte für Forschungsreinraum

Referenznummer der Bekanntmachung: CTR - Großgeräte für Forschungsreinraum
II.1.2)CPV-Code Hauptteil
38000000
II.1.3)Art des Auftrags
Lieferauftrag
II.1.4)Kurze Beschreibung:

Die Vergabe der Leistungen wird in folgenden drei Losen ausgeschrieben:

Los 1 (Lieferung von Inductively coupled plasma refractivce ion etcher (ICP-RIE);

Los 2 (Lieferung von Plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD);

Los 3 (Lieferung von Nanoindenter).

II.1.5)Geschätzter Gesamtwert
II.1.6)Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: ja
Angebote sind möglich für alle Lose
Maximale Anzahl an Losen, die an einen Bieter vergeben werden können: 3
II.2)Beschreibung
II.2.1)Bezeichnung des Auftrags:

Inductively coupled plasma refractive ion etcher (ICP-RIE)

Los-Nr.: 1
II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s)
38000000
II.2.3)Erfüllungsort
NUTS-Code: AT
Hauptort der Ausführung:

Villach

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

Für unseren Forschungsreinraum im Bereich MEMS benötigen wir eine induktiv gekoppelte Plasma-Ionenätzer (ICP-RIE) Anlage. Das System muss reinraumtauglich sein und soll sowohl mit Fluor- als auch Chlorprozessen kompatibel sein. Die Hauptanwendung ist das Silizium-Tiefätzen (sog. Bosch-Verfahren) sowie das Ätzen dünner SiO2, Si3N4, Al und Pt Schichten. Das System muss neu sein und Wafer bis zu einem Durchmesser von 200 mm handhaben können. Neben der Lieferung der genannten Anlage wird die Wartung der Anlage optional ausgeschrieben.

II.2.5)Zuschlagskriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind nur in den Beschaffungsunterlagen aufgeführt
II.2.6)Geschätzter Wert
II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Laufzeit in Monaten: 60
Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
II.2.9)Angabe zur Beschränkung der Zahl der Bewerber, die zur Angebotsabgabe bzw. Teilnahme aufgefordert werden
Geplante Anzahl der Bewerber: 5
Objektive Kriterien für die Auswahl der begrenzten Zahl von Bewerbern:

Siehe Teilnahmeunterlagen

II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote
Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein
II.2.11)Angaben zu Optionen
Optionen: ja
Beschreibung der Optionen:

Siehe Teilnahme- und Ausschreibungsunterlagen

II.2.12)Angaben zu elektronischen Katalogen
II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14)Zusätzliche Angaben
II.2)Beschreibung
II.2.1)Bezeichnung des Auftrags:

Plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD)

Los-Nr.: 2
II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s)
38000000
II.2.3)Erfüllungsort
NUTS-Code: AT
Hauptort der Ausführung:

Villach

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

Des Weiteren suchen wir für unseren Forschungsreinraum eine plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidungsanlage (PECVD) zur Abscheidung amorpher Silizium, Si3N4, SiON und SiO2 Schichten. Das System muss neu sein und Wafer bis zu einem Durchmesser von 200 mm handhaben können. Neben der Lieferung der genannten Anlage wird die Wartung der Anlage optional ausgeschrieben.

II.2.5)Zuschlagskriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind nur in den Beschaffungsunterlagen aufgeführt
II.2.6)Geschätzter Wert
II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Laufzeit in Monaten: 60
Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
II.2.9)Angabe zur Beschränkung der Zahl der Bewerber, die zur Angebotsabgabe bzw. Teilnahme aufgefordert werden
Geplante Anzahl der Bewerber: 5
Objektive Kriterien für die Auswahl der begrenzten Zahl von Bewerbern:

Siehe Teilnahmeunterlagen

II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote
Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein
II.2.11)Angaben zu Optionen
Optionen: ja
Beschreibung der Optionen:

Siehe Teilnahme- und Ausschreibungsunterlagen

II.2.12)Angaben zu elektronischen Katalogen
II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14)Zusätzliche Angaben
II.2)Beschreibung
II.2.1)Bezeichnung des Auftrags:

Nanoindenter

Los-Nr.: 3
II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s)
38000000
II.2.3)Erfüllungsort
NUTS-Code: AT
Hauptort der Ausführung:

Villach

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

Nanoindentation Gerät zur Bestimmung der Härte- und E-Modulbestimmung an Schichtwerkstoffen bis typischerweise einige Mikrometer Dicke. Des Weiteren sollen auch Scratchtests durchführbar sein. Proben sollen auch beheizbar sein und die Messung im beheizten Zustand durchgeführt werden. Neben der Lieferung der genannten Anlage wird die Wartung der Anlage optional ausgeschrieben.

II.2.5)Zuschlagskriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind nur in den Beschaffungsunterlagen aufgeführt
II.2.6)Geschätzter Wert
II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Laufzeit in Monaten: 60
Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
II.2.9)Angabe zur Beschränkung der Zahl der Bewerber, die zur Angebotsabgabe bzw. Teilnahme aufgefordert werden
Geplante Anzahl der Bewerber: 5
Objektive Kriterien für die Auswahl der begrenzten Zahl von Bewerbern:

Siehe Teilnahmeunterlagen

II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote
Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein
II.2.11)Angaben zu Optionen
Optionen: ja
Beschreibung der Optionen:

Siehe Teilnahme- und Ausschreibungsunterlagen

II.2.12)Angaben zu elektronischen Katalogen
II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben

III.1)Teilnahmebedingungen
III.1.1)Befähigung zur Berufsausübung einschließlich Auflagen hinsichtlich der Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister
Auflistung und kurze Beschreibung der Bedingungen:

Siehe Teilnahmeunterlagen

III.1.2)Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Eignungskriterien gemäß Auftragsunterlagen
III.1.3)Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
Eignungskriterien gemäß Auftragsunterlagen
III.1.5)Angaben zu vorbehaltenen Aufträgen
III.2)Bedingungen für den Auftrag
III.2.2)Bedingungen für die Ausführung des Auftrags:

Siehe Teilnahmeunterlagen

III.2.3)Für die Ausführung des Auftrags verantwortliches Personal

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung
IV.1.1)Verfahrensart
Verhandlungsverfahren
IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem
IV.1.4)Angaben zur Verringerung der Zahl der Wirtschaftsteilnehmer oder Lösungen im Laufe der Verhandlung bzw. des Dialogs
IV.1.5)Angaben zur Verhandlung
Der öffentliche Auftraggeber behält sich das Recht vor, den Auftrag auf der Grundlage der ursprünglichen Angebote zu vergeben, ohne Verhandlungen durchzuführen
IV.1.6)Angaben zur elektronischen Auktion
IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: nein
IV.2)Verwaltungsangaben
IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
IV.2.2)Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge
Tag: 13/03/2018
Ortszeit: 12:00
IV.2.3)Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber
IV.2.4)Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können:
Deutsch
IV.2.6)Bindefrist des Angebots
Laufzeit in Monaten: 5 (ab dem Schlusstermin für den Eingang der Angebote)
IV.2.7)Bedingungen für die Öffnung der Angebote

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.1)Angaben zur Wiederkehr des Auftrags
Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein
VI.2)Angaben zu elektronischen Arbeitsabläufen
VI.3)Zusätzliche Angaben:

Nationale Erkennungsnummer: [L-643162-8226]

VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Landesverwaltungsgericht Kärnten
Fromillerstraße 20
Klagenfurt am Wörthersee
9020
Österreich
Telefon: +43 463/54350
E-Mail:
Fax: +43 463/54350/29
VI.4.2)Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren
VI.4.3)Einlegung von Rechtsbehelfen
VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt
VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
26/02/2018